વેક્યુમ કાર્બ્યુરાઇઝિંગ એ વેક્યૂમમાં વર્કપીસને ગરમ કરવાનું છે.જ્યારે તે નિર્ણાયક બિંદુથી ઉપરના તાપમાને પહોંચે છે, ત્યારે તે થોડા સમય માટે રહે છે, ઓક્સાઇડ ફિલ્મને ડિગાસ કરશે અને દૂર કરશે, અને પછી કાર્બ્યુરાઇઝિંગ અને પ્રસરણ માટે શુદ્ધ કાર્બ્યુરાઇઝિંગ ગેસમાં પસાર થશે.વેક્યૂમ કાર્બ્યુરાઇઝિંગનું કાર્બ્યુરાઇઝિંગ તાપમાન ઊંચુ છે, 1030 ℃ સુધી, અને કાર્બ્યુરાઇઝિંગ ઝડપ ઝડપી છે.કાર્બ્યુરાઇઝ્ડ ભાગોની સપાટીની પ્રવૃત્તિને ડીગાસિંગ અને ડીઓક્સિડાઇઝિંગ દ્વારા સુધારેલ છે.અનુગામી પ્રસરણ ઝડપ ખૂબ ઊંચી છે.જ્યાં સુધી જરૂરી સપાટીની સાંદ્રતા અને ઊંડાઈ ન પહોંચી જાય ત્યાં સુધી કાર્બ્યુરાઇઝિંગ અને પ્રસરણ વારંવાર અને વૈકલ્પિક રીતે હાથ ધરવામાં આવે છે.
વેક્યુમ કાર્બ્યુરાઇઝિંગ ઊંડાઈ અને સપાટીની સાંદ્રતાને નિયંત્રિત કરી શકાય છે;તે ધાતુના ભાગોના સપાટીના સ્તરના ધાતુશાસ્ત્રીય ગુણધર્મોને બદલી શકે છે, અને તેની અસરકારક કાર્બ્યુરાઇઝિંગ ઊંડાઈ અન્ય પદ્ધતિઓની વાસ્તવિક કાર્બ્યુરાઇઝિંગ ઊંડાઈ કરતાં વધુ ઊંડી છે.